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原子層沉積設備市場暨產業動態

2023/12/11
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原子層沉積製程技術具有極佳之薄膜成長厚度精確控制性、階梯覆蓋性、大面積均勻性、低溫製程及薄膜品質穩定良好等優異特性，成為半導體、能源、民生、觸媒與光電等產業積極發展之重要核心技術。隨著物聯網(IoT)、人工智慧(AI)和5G等先進技術，對...

邱琬雯

#原子層沉積設備 #Atomic Layer Deposition Equipment #薄膜沉積 #Thin Film Deposition #超越摩爾定律 #More than Moore